刻蚀机

  • 中微5nm刻蚀机获认可，中国芯“弯道超车”？尹志尧博士一语中的

    从去年开始，中微5纳米刻蚀机被台积电认可，即将打入台积电5纳米芯片生产线的消息就传出来了，而据最新消息，今年确实已经正式投入生产。对此消息，网上议论纷纷，其中有个论调是这样说“中国芯片行业弯道超车”。中微5纳米刻蚀机研发乐成的意义，是不是有那么重大，是不是真的能让中国芯片行业“弯道超车”呢？还是被夸大，言过其实呢？中微的技术突破据悉，近几年来，我国的芯片制造设备 95%依赖于入口，焦点设备基本上

    2020-06-30

  • 芯片的镌刻刀！投入占比超光刻机，揭秘走在国产替代前列的刻蚀设备

    光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备是芯片制造历程中的三大焦点设备，如果把芯片比作一幅平面镌刻作品，那么光刻机是打草稿的画笔，刻蚀机是镌刻刀，沉积的薄膜则是组成作品的质料。光刻的精度直接决议了元器件描画的尺寸，刻蚀和薄膜沉积的精度则决议了光刻的尺寸能否实际加工，因此光刻、刻蚀和薄膜沉积设备是芯片加工历程中最重要的三类主设备，价值占前道设备的近 70%。在高端光刻领域，浸没式光刻是干法光刻的替代技术，新旧

    2020-03-30

  • 大国重器之国产刻蚀机：中国芯片燎原火

    在此前IT之家《兵进光刻机，中国芯片血勇突围战》一文中，有网友表现除了光刻机，对刻蚀机也比力感兴趣。今天汐元就和大家讲一讲刻蚀机的那些事吧。在开始之前先统一一下名称，“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确的叫法。海内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”，本文也统一使用“刻蚀机”。一、刻蚀机是用来做什么的刻蚀机，顾名思义，对应的是芯片制造中的“刻蚀”这一步。在芯片制造中，“光刻”和“刻蚀”

    2020-02-12