大国重器之国产刻蚀机：中国芯片燎原火

在此前IT之家《兵进光刻机，中国芯片血勇突围战》一文中，有网友表现除了光刻机，对刻蚀机也比力感兴趣。今天汐元就和大家讲一讲刻蚀机的那些事吧。在开始之前先统一一下名称，“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确的叫法。海内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”，本文也统一使用“刻蚀机”。一、刻蚀机是用来做什么的刻蚀机，顾名思义，对应的是芯片制造中的“刻蚀”这一步。在芯片制造中，“光刻”和“刻蚀”

2020-02-12