国产红外温度传感器人体测温精度达0.1℃

科技日报记者 陈瑜

高性能耳温枪、额温枪等非接触式测温工具是当前对大规模人员举行发烧筛查的主要工具之一，其焦点部件MEMS（微机电系统）红外温度传感器恒久主要依赖入口。克日，中国武器工业团体电子院华东光电集成器件研究所通过技术攻关，已完成传感器芯片各种单项试验，性能指标精度到达0.1℃，抗滋扰能力优于现在市场主流产物（性能指标精度为0.3℃）。

封装后的MEMS红外智能传感器芯片 武器工业团体提供

因疫情防控、复工复产需要，高性能耳温枪和额温枪等非接触式人体测温工具MEMS红外传感器有了上百万颗的订货需求。华东光电集成器件研究所自1月底紧迫调整产物研制计划，提前复工复产，组建党员突击队和技术攻关小组，24小时不中断轮班开展研制事情，现在已完成传感器芯片各种单项试验，预计在3月底完成芯片样品研制。同时该所还采购全自动化组封装关键设备、增补芯片制造的关键设备，推动传感器芯片制造、组封装的国产化，月产能从现在的2万颗提升到100万颗以上，4月初可大量投放市场。

作为国家发改委MEMS国家地方团结工程实验室和武器工业团体微系统制造技术创新中心，华东光电集成器件研究所具有MEMS传感器芯片设计、制造、封装、测试等完整的科研能力，通过技术创新取得MEMS传感器多项技术结果，下一步将开发相关测温产物，满足疫情防控、复工复产等高精度人体测温需要。